立式氧化/扩散炉建模与调度研究-

[摘要]:立式氧化/冗长的炉是半导体流水线前议事顺序的要紧操作方法,它批量落实晶圆操作。,成批处置需求更长的工夫。,它是半导体流水线的首要瓶颈路段经过。。立式氧化/冗长的炉指挥飞行的雷达体系的机能直接地情绪反应晶圆创造的本钱,调整算法是指挥飞行的雷达体系高效运转的键入。。

本文率先基础某典型立式氧化/冗长的炉的操作处置停止脸男朋友Petri网建模,将立式氧化/冗长的炉按运用权划分为片架台、三种男朋友,翻钢机和技术腔。,参加发觉其男朋友Petri网。,用M停止男朋友相干电网络的静态剖析。,构成出机能良好的立式氧化/冗长的炉操作处置的脸男朋友Petri网,本男朋友的体系把持软件勋绩的根本处置;为了附加的剖析立式氧化/冗长的炉的单机调整和多机调整,并有其操作特点和粗制滥造约束发觉了立式氧化/冗长的炉的调整混合Petri网,剖析并供应了调整算法中需求处置的成绩。。

在上述的建模剖析参照系的按照,在可预测命运下设计了杂多的典型的晶圆抵达工夫。,对作最低估计总达到结尾的工夫是目的。,本粒子群算法的单机多机调整算法。单机调整算法本总批数最小和抵达工夫毗连的片盒停止组批的原理构成组批办法搜索集,属于每批成批处置办法,采取粒子群使最优化算法。,那时的收到姣姣者一炉和排序果实。。多机调整算法采取与单machinery 机器相同的的办法。,粒子群使最优化算法求解方法散布成绩,运用各方法机关的首次到首次处置控制,充分地收到最好的一炉。、散布和排序果实。同时,凿装载/扔弃处置对调整的情绪反应不思索,本文的建模剖析果实阐明使感激在调整算法中独立思索晶圆加/扔弃所需的工夫,因而,调整算法被用来布置图装卸。,当所非常磁带抵达组中时,训练抵达B的凿。。本实践方法参量的数值仿照,不相同晶圆度下调整算法的运算加速、调整机能与可可重复性,使有法律效力了凿装载标示于图表上的无效使最优化。。

充分地基础某典型立式氧化/冗长的炉体系把持软件的勋绩盘问,采取MATLAB和C#讨论混合编顺序将单机调整算法实践应用到立式氧化/冗长的炉的指挥飞行的雷达体系中。通处置序校验连接取得C讨论命运切中要害方法参量、凿参量和技术参量的输入和调整RE的输入,单机调整器AR的参量递送与操作处置。

[度数赋予单位]:清华大学
[度数程度]:硕士
[度数赋予年]:2011
[搭配号]:TN305

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