立式氧化/扩散炉建模与调度研究-

[摘要]:立式氧化/连续的一段时期炉是半导体一贯作业生利零碎前手续的要紧审核配件,它批量给予帮助晶圆审核。,成批处置需求更长的时期。,它是半导体一贯作业生利零碎的次要阻碍经过。。立式氧化/连续的一段时期炉操纵零碎的机能径直地感染晶圆创造的本钱,调整算法是操纵零碎高效运转的坩埚。。

本文率先土地某典型立式氧化/连续的一段时期炉的审核行动方向停止必须对付宾语Petri网建模,将立式氧化/连续的一段时期炉按申请划分为片架台、三种宾语,推床和技术腔。,地区确立或使安全其宾语Petri网。,用M停止宾语相干体系的静态辨析。,构造出机能良好的立式氧化/连续的一段时期炉审核行动方向的必须对付宾语Petri网,因为宾语的零碎把持软件勋绩的根本行动方向;为了更辨析立式氧化/连续的一段时期炉的单机调整和多机调整,结婚其审核特点和生利约束确立或使安全了立式氧化/连续的一段时期炉的调整混合Petri网,辨析并供给了调整算法中需求处置的成绩。。

在上述的建模辨析推测的依据,在可预测使处于某种特定的情况之下下设计了杂多的典型的晶圆抵达时期。,最小的总完成的时期是目的。,因为粒子群算法的单机多机调整算法。单机调整算法因为总批数最小和抵达时期毗邻的的片盒停止组批的重要的构造组批方式搜索集,在流行切中要害每批成批处置方式,采取粒子群最优化算法。,那么接球姣姣者一批和排序水果。。多机调整算法采取与单machine 机器相同的的方式。,粒子群最优化算法求解配件散布成绩,应用各配件机关的宁愿到宁愿处置正规军,最初接球最好的一批。、散布和排序水果。旁,圆片装载/卸载软件行动方向对调整的感染不思索,本文的建模辨析水果阐明使负债务在调整算法中独自思索晶圆加/卸载软件所需的时期,这么,调整算法被用来展现装卸。,当所若干磁带抵达组中时,负担抵达B的圆片。。因为现实配件决定因素的数值模仿,差数晶圆攀登下调整算法的运算职业、调整机能与可重复,校对了圆片装载安排的无效最优化。。

最初土地某典型立式氧化/连续的一段时期炉零碎把持软件的勋绩规定,采取MATLAB和C#口令混合预调将单机调整算法现实应用到立式氧化/连续的一段时期炉的操纵零碎中。通行动方向序检验喷嘴了解C口令使处于某种特定的情况之下切中要害配件决定因素、圆片决定因素和学术语决定因素的输入和调整RE的输入,单机调整器AR的决定因素传送与操作行动方向。

[度数赋予单位]:清华大学
[度数程度]:硕士
[度数赋予年]:2011
[分类学号]:TN305

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