立式氧化/扩散炉建模与调度研究-

[摘要]:立式氧化/使扩散炉是半导体腰围前手续的要紧科技流水作业线装备,它批量完成晶圆运作。,成批处置必要更长的时期。,它是半导体腰围的次要瓶颈路段经过。。立式氧化/使扩散炉把持制度的功能直地情感晶圆创造的本钱,调整算法是把持制度高效运转的铰链。。

本文率先地面某典型立式氧化/使扩散炉的运作加工停止表面不赞成Petri网建模,将立式氧化/使扩散炉按应用划分为片架台、三种不赞成,翻钢机和技术腔。,辨别出创建其不赞成Petri网。,用M停止不赞成相干广播网的静态辨析。,体系出功能良好的立式氧化/使扩散炉运作加工的表面不赞成Petri网,本不赞成的体系把持软件开门的根本加工;为了更远的辨析立式氧化/使扩散炉的单机调整和多机调整,联合集团其运作特点和工厂约束创建了立式氧化/使扩散炉的调整混合Petri网,辨析并供应了调整算法中必要处置的成绩。。

在是你这么说的嘛!建模辨析大众化的观念的依据,在可预测仪式下设计了各式各样的典型的晶圆抵达时期。,极小值总结尾的时期是目的。,本粒子群算法的单机多机调整算法。单机调整算法本总批数最小和抵达时期附加的片盒停止组批的基础体系组批办法搜索集,大约每批成批处置办法,采取粒子群优选法算法。,之后增加冠一批生产的量和排序胜利。。多机调整算法采取与单machine 机器同卵的的办法。,粒子群优选法算法求解装备散布成绩,应用各装备机关的基本的到基本的处置经常地,末版增加最好的一批生产的量。、散布和排序胜利。旁,用胶纸封装载/抛售加工对调整的情感不思索,本文的建模辨析胜利阐明施恩惠在调整算法中独自思索晶圆加/抛售所需的时期,到这地步,调整算法被用来预调装卸。,当所若干磁带抵达组中时,装货抵达B的用胶纸封。。本实践装备决定因素的数值仿照,意见分歧晶圆生水垢下调整算法的运算响声、调整功能与可重复,证实了用胶纸封装载制图的无效优选法。。

末版地面某典型立式氧化/使扩散炉体系把持软件的开门提出要求,采取MATLAB和C#文体混合规划将单机调整算法实践应用到立式氧化/使扩散炉的把持制度中。通加工序份量乐器的吹口实现预期的结果C文体仪式做成某事装备决定因素、用胶纸封决定因素和科技决定因素的输入和调整RE的输入,单机调整器AR的决定因素传染与操作加工。

[度数赋予单位]:清华大学
[度数程度]:硕士
[度数赋予年]:2011
[混合物号]:TN305

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